网站首页
学院概况
学院简介
党政领导
党政工班子
机构设置
职能组织
媒体化工
师资队伍
高层次人才
教师名录
人才引进
人才培养
本科生
研究生
博士后流动站
科学研究
通知公告
学科建设
科研项目
科研成果
党建工作
通知公告
分党校
党员教育
党纪学习教育专栏
学生工作
学工动态
心理教育
就业化工
创新创业
科普化工
每日学习
教工之家
组织机构
两代会
工会通知
工会风采
学习园地
院务公开
学校工会
校友家园
校友墙
校友捐赠
校友风采
校友动态
办事指南
退休家园
退休教师名录
机构设置
夕阳风采
教学成果
研究生培养介绍
研究生培养模式
教学成果奖励
自主实践平台(基地)
导师团队荣誉
校内导师荣誉
海外导师
企业导师
研究生培养成果
媒体报道
教改论文
院内信息
通知公告
重要文件
临时下载
快速链接

毕业生档案查询系统

福大石化学院学生分布图

福州大学教务处

福州大学研究生院

福州大学人事处

福州大学科技处

福州大学学生处

福州大学计财处

| English Version
学术活动
当前位置： 网站首页 学术活动 正文

“可镁科学讲坛”第九十六期——90nmArF光刻胶和10-5 nm分辨率DSA光刻图形化材料的研发

发布日期：2019-12-02 阅读量：

2019年12月2日下午2点半，第九十六期“可镁科学讲坛”如期而至，本次讲坛邀请到了来自复旦大学微电子学院的邓海教授。作为本次讲坛的主讲人，邓海教授在泉港楼优尔报告厅为我院师生带来了一期题为“90nmArF光刻胶和10-5nm分辨率DSA光刻图形化材料的研发”的报告，很多对相关领域感兴趣的师生前来聆听。

本次报告，邓海教授首先就目前全球半导体行业的具体形式进行了详细的讲解，并对我国半导体行业面临的问题和不足之处一一展示。紧接着邓海教授引出了光刻胶和光刻材料在半导体行业中举足轻重的地位。90 nm-38 nm分辨率的ArF光刻胶是核心关键材料也是卡脖子材料，但是却完全依赖于进口。最后，邓海教授展示了他们团队成功开发出的ArF光刻胶，其产品性能已经与商用光刻胶相当。同时，邓教授课题组还研发了10-5 nm LS的DSA图形化材料，合成了一系列具有5 nm分辨率的DSA材料，有望在3 nm节点及以下的半导体工艺中得到应用。邓海教授的成果填补了国内空白，极大鼓舞了人心。

报告的最后，同学们就光刻胶的表征方式及性能的判定同邓海教授进行了深入的探讨交流。同学们受益匪浅，并献上了热烈的掌声。第九十六期“可镁科学讲坛”圆满地结束。

上一篇：“可镁科学讲坛”第九十八期——碳化钙合成乙炔衍生物及有机硫的绿色氧化

下一篇：​报告人：邓海 报告题目：90nmArF光刻胶和10~5nm分辨率DSA光刻图形化材料的研发 【“可镁科学讲坛”第九十七期（2019年12月02日）】

Copyright © 2025 银河电子游戏1331(中国)有限公司-搜狗百科版权所有

地址: 福建省福州市福州大学城乌龙江北大道2号 邮编: 350108 电邮: syhg@fzu.edu.cn 网址 : www.nightale.com

2021年5月24日 星期一

首页 > 网站首页 > 学术活动 > 正文
学生工作

“可镁科学讲坛”第九十六期——90nmArF光刻胶和10-5 nm分辨率DSA光刻图形化材料的研发

发布日期：2019-12-02 阅读量：

2019年12月2日下午2点半，第九十六期“可镁科学讲坛”如期而至，本次讲坛邀请到了来自复旦大学微电子学院的邓海教授。作为本次讲坛的主讲人，邓海教授在泉港楼优尔报告厅为我院师生带来了一期题为“90nmArF光刻胶和10-5nm分辨率DSA光刻图形化材料的研发”的报告，很多对相关领域感兴趣的师生前来聆听。

本次报告，邓海教授首先就目前全球半导体行业的具体形式进行了详细的讲解，并对我国半导体行业面临的问题和不足之处一一展示。紧接着邓海教授引出了光刻胶和光刻材料在半导体行业中举足轻重的地位。90 nm-38 nm分辨率的ArF光刻胶是核心关键材料也是卡脖子材料，但是却完全依赖于进口。最后，邓海教授展示了他们团队成功开发出的ArF光刻胶，其产品性能已经与商用光刻胶相当。同时，邓教授课题组还研发了10-5 nm LS的DSA图形化材料，合成了一系列具有5 nm分辨率的DSA材料，有望在3 nm节点及以下的半导体工艺中得到应用。邓海教授的成果填补了国内空白，极大鼓舞了人心。

报告的最后，同学们就光刻胶的表征方式及性能的判定同邓海教授进行了深入的探讨交流。同学们受益匪浅，并献上了热烈的掌声。第九十六期“可镁科学讲坛”圆满地结束。

上一篇：“可镁科学讲坛”第九十八期——碳化钙合成乙炔衍生物及有机硫的绿色氧化

下一篇：​报告人：邓海 报告题目：90nmArF光刻胶和10~5nm分辨率DSA光刻图形化材料的研发 【“可镁科学讲坛”第九十七期（2019年12月02日）】

银河电子游戏1331

地址：中国福建省福州市福州地区大学新区学园路2号 邮编: 350108

网址 : www.nightale.com 电邮: syhg@fzu.edu.cn

Copyright © 2025 银河电子游戏1331(中国)有限公司-搜狗百科版权所有
Baidu
sogou